総合カタログ2022〈第3版〉
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W-357-1.5MPG単周波発振40W1.5MHzAC100V~240V 単相 50/60Hz 300VA180×250×100(ゴム足含む)2.2㎏W-357-1.5MPG-TD0.9L/min(ストレート継手)29×34×92㎜φ4㎜300gW-357-3MPG単周波発振40W3MHzAC100V~240V 単相 50/60Hz 300VA180×250×100(ゴム足含む)2.2㎏0.9L/min(ストレート継手)W-357-3MPG-TD29×34×92㎜φ4㎜300gW-357-04PG80W400kHz単周波発振AC100V~240V 単相 50/60Hz 300VA180×250×100(ゴム足含む)2.2㎏W-357-04PG-TD4L/min60×69×134㎜φ8㎜700g高周波利用設備許可申請の手続が必要【詳しくはP49】貸出機あり貸出機あり貸出機あり●1.5MHzの高周波で微細なパーティクルを除去します。RS422Aにより通信が可能です。●3MHzの採用でさらに細かいパーティクルを除去し、ダメージを抑えます。●ウェーハのCMP後の洗浄、産業用レンズの研磨剤除去など、 中周波数(400kHz)で様々な精密洗浄に使用されています。24発振器型式発振モード定格出力 公称発振周波数電源入力外形寸法(W×D×H㎜)質量●出力可変範囲:0W~40W ●使用周囲環境:温度:5~40℃ 湿度:10~85%●外部駆動用接点の定格:超音波発振制御(制御側)            接点入力:DC12V 18mA以上 警報用出力(本器)接点容量:DC24V 0.5A■付属ケーブル:電源コード(AC100V/2m又はAC200V/3mから選択) 制御コード(5m)×4振動子ノズル型式流量外形寸法吐出口寸法質量●使用液温度範囲:20~50℃ ●振動子:PZT ●材質:ノズル:PCTFE、PTFE パッキン:パーフロ 振動板:タンタル●給液口:適合チューブ(外径 φ6) ●コード長:出力コード5m発振器型式発振モード定格出力 公称発振周波数電源入力外形寸法(W×D×H㎜)質量●出力可変範囲:0W~40W ●使用周囲環境:温度:5~40℃ 湿度:10~85%●外部駆動用接点の定格:超音波発振制御(制御側)            接点入力:DC12V 18mA以上 警報用出力(本器)接点容量:DC24V 0.5A■付属ケーブル:電源コード(AC100V/2m又はAC200V/3mから選択) 制御コード(5m)×4振動子ノズル型式流量外形寸法吐出口寸法質量●使用液温度範囲:20~50℃ ●振動子:PZT●材質:ノズル:特殊セラミックス、PCTFE パッキン:バイトンゴム、シリコーンゴム 振動板:特殊セラミックス●給液口:適合チューブ(外径 φ6) ●コード長:出力コード5m発振器型式発振モード定格出力 公称発振周波数電源入力外形寸法(W×D×H㎜)質量●出力可変範囲:0W~80W ●使用周囲環境:温度:5~40℃ 湿度:10~85%●外部駆動用接点の定格:超音波発振制御(制御側)            接点入力:DC12V 18mA以上 警報用出力(本器)接点容量:DC24V 0.5A■付属ケーブル:電源コード(AC100V/2m又はAC200V/3mから選択)、制御コード(5m)×4振動子ノズル型式流量外形寸法吐出口寸法質量●使用液温度範囲:20~50℃ ●振動子:PZT ●材質:ノズル:PP(ポリプロピレン)、特殊セラミックス パッキン:シリコーンゴム 振動板:タンタル●給液口:適合チューブ(外径 φ13) ●コード長:出力コード5mW-357-1.5MPGW-357-3MPGW-357-04PG

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