FTYPESTYPE洗浄機器／低・中周波洗浄機器／卓上型洗浄機器／高周波応用機器計測機器寸法図オプションW-357BM-600W-357BM-1200W-357-1MQG-SKC単周波発振12W1MHzAC100～240V単相 50/60Hz 300VA180×250×100（ゴム足含む）2.2㎏単相 50/60Hz 1200VAアナログ出力接点出力外部駆動入力RS485通信220×360×143（ゴム足含む）高周波利用設備許可申請の手続が必要【詳しくはP49】振動板タイプ槽タイプW-357BM-600単周波発振600W100W～600W1MHzAC200~240VVFD（蛍光表示管） 16文字 x 2行4-20mA電流出力3点 アラーム出力、発振検出出力、電源ON出力2点 センサ入力、リモート入力 MODBUS®プロトコル、RTUモード5㎏W-357BM-600FW-357BM-600600W1MHz135×160250×220×68板：SUS316L 表面電解研磨3.3㎏6 inch5mW-357BM-600SW-357BM-600600W1MHz135×160302×296×372248×236×252槽：SUS316L パッキン：バイトン、PTFERc 1/2 11.6㎏6 inch5mW-357-1MQG-SKC-TD指定なし159㎜φ24㎜24㎠600gW-357BM-12001200W200W～1200WAC200~240V単相 50/60Hz 2400VA360×360×143（ゴム足含む）7㎏W-357BM-1200FW-357BM-12001200W272×154355×245×687㎏8 inch5m×2W-357BM-1200SW-357BM-12001200W135×160 2ヶ所496×336×372442×276×25218㎏6 inch×25m×2■振動板タイプ■ 槽タイプ高周波洗浄機特許取得済貸出機あり貸出機あり※ご要望に応じて、特注振動子ユニットの製作も承ります。・最大許容入力：600W/1200W/1800W/2400W 3000W/3600W・対応ウェーハ：6インチ/8インチ/12インチ●デジタル制御により、安定した発振が可能です。●多彩なインターフェースにより、洗浄装置に合わせた制御が可能です。発振器型式発振モード定格出力出力可変範囲公称発振周波数電源入力表示インターフェース外形寸法（W×D×H㎜）質量●使用周囲環境：温度：5～40℃ 湿度：5～80%（ただし結露無きこと） ●電源コード長：3ｍ ●寸法図 ●▲Ｐ27※MODBUSは、シュナイダーエレクトリック ユーエスエーインコーポレーテッドの登録商標です。型式発振器 型式最大許容入力公称駆動周波数有効輻射面（W×D㎜）外形寸法（W×D×H㎜）（配線、配管を含まず）材質質量対応ウェーハサイズ振動子コード長●接液部材質：振動板：SUS316L ●使用液温度範囲：5～80℃ ●振動子：PZT ●寸法図 ●▲Ｐ29 型式発振器 型式最大許容入力公称駆動周波数有効輻射面（W×D㎜）外形寸法（W×D×H㎜）外形： 槽内：材質ドレインバルブ質量対応ウェーハサイズ振動子コード長●接液部材質：振動板、槽：SUS316L パッキン：PTFE 給水／排水用ニップル：SUS304 ●使用液温度範囲：5～80℃ ●振動子：PZT ●寸法図 ●▲Ｐ29 25■振動子ユニットFシリーズS石英振動体型洗浄機微細化パターンのウェーハを低ダメージで洗浄●振動子冷却機構付きのため標準品に比べ最大出力が2.4倍へアップ●振動子を冷却する事により周波数変動が無く安定した連続運転が可能●【振動子】冷却により振動子の急激な温度変化が無いため、長寿命振動体ノズル発振器型式型式発振モード流量定格出力全長公称発振周波数チャック部寸法照射面積電源入力質量外形寸法（W×D×H㎜）●使用液温度範囲：20～50℃ ●振動子：PZT質量●材質：振動体：石英ガラス パッキン：シリコーンゴム ケース：PCTFE●出力可変範囲：0W～12W●コード長： 出力コード1.5m+中継コード3.5m （振動体の許容入力：振動子冷却のエアパージ使用時は連続10W）●エアパージ用継手：適合チューブ（外径 φ6）●使用周囲環境：温度：5～40℃ 湿度：10～85%●外部駆動用接点の定格：超音波発振制御（制御側）接点入力：DC12V 18mA以上 警報用出力（本器）接点容量：DC24V 0.5A■付属ケーブル：電源コード（AC100V/2m又はAC200V/3mから選択）、制御コード（5m）×4※2MHz、3MHzも特注仕様にて対応致します。セパレート型バッチ式超音波でサブミクロンのパーティクルを除去しますW-357 -1MQG-SKCW-357BM
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