大低～高小6※超音波洗浄機の導入時、どの工程までをシステムとして組み込むのかの決定も重要です。『洗浄→すすぎ→乾燥』最低でもこの３工程は必要です。卓上型であれば、「洗浄」機能しか持たないため、次工程以降をどのように行うか、検討が必要です。標準タイプ発振器発振器発振器対象の汚れ大きな汚れゴミの大きさ10μm以上・埃発振器と振動板タイプ振動子ユニットの組み合わせです。設備等への組み込み用として使用できます。Ｓタイプにヒーターを装備。温水効果で、より高い洗浄力が得られます。発振器発振器ＦタイプＳＨタイプダメージ用途例金属部品の脱脂洗浄樹脂の脱脂洗浄液晶ガラスの受け入れ洗浄精密金属部品洗浄ハードディスク洗浄・CSP基板・精密金属部品・光ディスク・HDのヘッド化合物ウェーハ・ハードディスクシリコンウェーハ・ガラスウェーハ・ガラス基板ガラス基板の最終洗浄、シリコンウェーハ（回路付き）、ガラスマスクシリコンウェーハ（回路付き）・ガラスマスク発振器特長ヒーター付タイプ発振器産業洗浄には超音波洗浄のほかに噴流洗浄、バブリング洗浄、シャワー洗浄、揺動洗浄、蒸気（ベーパー）洗浄などがあります。それぞれの洗浄においてワークの汚れや要求される洗浄の品質により洗浄方法が異なります。超音波洗浄は次のような特長があります。・洗浄品質の均一化・洗浄時間の短縮化・被洗浄物の全体の洗浄ができる（精密部品や複雑形状部品に優位）超音波洗浄は汚れの種類に応じて、適切な洗浄液を選定し、超音波の物理的作用と洗浄液の化学的作用を組み合わせて最大限の洗浄効果を上げるようにすることが重要です。超音波洗浄機の機種選定の際は、以下の項目をご参考にしてください。①洗浄目的／汚れの種類………脱脂、研磨粉、パーティクルの除去など②ワークの種類…………………材質、寸法（カゴを使用する場合は、カゴの寸法）など③超音波洗浄機の形状…………セパレート型、卓上型、石英振動体型、流水式周波数選択周波数28kHz40kHz75kHz～100kHz120kHz160kHz400kHz1MHz3MHzＮタイプＳタイプ油系・目に見える5μm～10μm以上1μm～10μm0.2μm～5μm0.2μm～1μm0.2μm以下●セパレート型セパレート型の超音波洗浄機は発振器と振動子ユニットで構成されており、用途や設備、目的に応じてそれぞれの組み合わせを選ぶことができます。発振器と投げ込みタイプ振動子ユニットの組み合わせです。お手持ちの洗浄槽で使用できます。発振器と専用の洗浄槽の組み合わせです。設置が簡単ですぐに使用できます。洗浄エネルギーが大きい為、脱脂などの頑固な汚れの洗浄に使用される。洗浄液の効力を助ける役目を果たす。28kHzよりワークへのダメージが少ない為、精密部品の洗浄に使用されることが多い。40kHzでワークへダメージが出る場合に使用される事が多い。洗浄エネルギーも比較的大きく、ワークへのダメージも少ない為、最近注目されている周波数。ウェーハなどの受け入れに使用される。ワークへのダメージが少なく、微細な汚れ除去が可能。パーティクルの除去サイズが幅広く、様々な精密洗浄が期待されている。眼にみえないようなパーティクルの除去に使用される。ワークへのダメージも少ない。ウェーハ洗浄では、注目を集めている。1MHzより微細なパーティクル除去の目的で使用される。●卓上型ワンボディーにまとめたコンパクトタイプで設置が簡単です。●流水式高周波超音波を水流にのせて洗浄するタイプです。●石英振動体型石英振動体に超音波を重畳させて、半導体ウェーハを洗浄します。
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